专利名称：一种衬底基座及其制造方法和一种处理衬底的方法专利类型：发明专利
发明人：特洛伊·艾伦·戈姆,尼克·拉伊·小林百格申请号：CN202010719108.1申请日：20160512公开号：CN112063995A公开日：20201211
摘要：本发明涉及一种衬底基座及其制造方法和一种处理衬底的方法。所述处理衬底的方法包括：将衬底放置在衬底基座上，将背部热传输气体或吹扫气体供给通过背部气体管路至在衬底的下表面下方的区域，背部气体管路包括在上部气体管路凸缘中的至少一个开口，使得至少一个相应的电气连接件能延伸通过上部气体管路凸缘。所述衬底基座包括：由陶瓷材料形成的台板，其具有构造成在处理期间支承所述衬底的上表面；杆，其由陶瓷材料形成并具有上部杆凸缘以支撑所述台板；由陶瓷材料形成的背部气体管路，其位于所述杆的内部，背部气体管路包括位于台板的下表面与上部杆凸缘的上表面之间的上部气体管路凸缘，背部气体管路与台板的至少一个背部气体通道流体连通。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
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